금속 증착

Sigma® 증착 시스템

Sigma 제품군은 기존 PVD부터 MOCVD를 아우르는 증착 기술로 100mm ~ 300mm의 웨이퍼 크기를 지원합니다. 

금속 증착 기술

  • 표준 PVD – 저 종횡비 형상을 위한 기존의 스퍼터 모듈
  • 고급 하이필(AHF) PVD – 높은 종횡비의 형상을 증착하기 위한 이온화된 스퍼터 소스

PVD의 서비스가 제공되는 시장

Sigma® deposition systems

Sigma® deposition systems

The Sigma product range supports wafer sizes from 100mm to 300mm with deposition technologies covering conventional PVD through...

상세 열람

Inquiry about: 금속 증착

Please provide your name
Please provide your name
Please provide your email address
Please provide your telephone number
Please provide your job title
Please provide your company name
Please enter your message
Please confirm that you have read and agree to the privacy policy

Privacy Policy

×