MVD®
분자 증착(MVD®)은 반도체 제조업체가 기존 액체 증착 기술보다 더욱 높은 수율과 향상된 비용 효율성을 갖춘 기능화된 유기 및 무기 초박형 필름을 생성하는 데 도움을 주기 위해 발명되었습니다. 이러한 필름은 윤활, 보호, 소수성, 친유성, 생체 적합성 또는 반응성 코팅으로 활용합니다. 예를 들어 MEMS 응용 분야에서 MVD 필름은 일반적으로 장치 성능을 개선하고 전체적인 장치 수명을 연장하기 위한 점착 방지 코팅으로 사용됩니다.
MVD 프로세스 기술은 폭넓은 기판 스펙트럼에서 저온 증착을 통해 초박형 필름을 증착합니다. 이는 이러한 유형 중에서 유일한 증착 기술입니다. ALD 와 CVD의 공정과 유사 프로세스를 모두 실행할 수 있는 고도로 유연한 시스템 플랫폼에는 기판 컨디셔닝을 위한 선택적 통합 플라즈마 생성 기능이 있습니다. MVD 플랫폼을 이용하면 최대 4개의 프리커서 (precursors)를 사용할 수 있으며 단일 배치에서 여러 웨이퍼 또는 기타 3차원 물체를 처리할 수 있습니다. 이는 최대 2000:1에 달하는 종횡비가 극도로 높은 증착 성능을 제공합니다.
MEMS 생산을 위한 MVD®의 이점
MVD를 이용해 제조업체는 업계 최고의 신뢰성으로 독보적인 필름 균일성을 달성할 수 있습니다. 이는 제조 수율을 극대화하고 전반적인 비용을 낮추는 장점이 됩니다. 장치 성능도 대폭 향상되었으며 특히 수많은 MEMS 응용 분야에서 뚜렷하게 나타났습니다. 예를 들어 MVD 증착된 점착 방지 필름을 이용하면 가속도계의 고장률이 40%에서 5% 미만으로
급감하면서 마이크 고장률이 14%에서 0.4%로 낮아집니다.
MVD 플랫폼은 다양한 기능을 갖추고 있으며 사용이 간편하고 확장성이 뛰어납니다. 또한 학습 곡선이 가벼우며 이는 여러 애플리케이션을 위해 시스템을 배포하는 고객이 중시하는 이점입니다. 대단히 낮은 소유 비용은 도구에 내재된 효율성 때문이며 전구체 소비가 매우 낮다는 점도 이에 기여합니다. 또한, 실행당 밀리그램 수준의 전구체만을 소비하고 거의 0에 가까운 사용 현장 배기 처리가 필요하므로 대부분의 기타 CVD 증착 기술보다 환경 친화적입니다.
MVD는 초박형 보호 필름을 위한 기존 성장 방법보다 훨씬 우수한 대안입니다. 기존 증착 도구의 진행 속도보다 빠르게 형상 크기가 줄어들면서 MVD는 완전히 새로운 접근 방식을 제시합니다. 기존 기술에 의한 부담을 지지 않은 이 플랫폼은 박형 필름 증착 전문가 팀에 의해 엔지니어링되었으며 오늘날의 고급 장치의 공격적인 성능 사양을 충족할 수 있도록 특별히 제작되었습니다.
MEMS 외에 다른 중요한 응용 분야에도 MVD가 유용하게 활용되고 있습니다. 예를 들어 고급 패키징 응용 분야에서 MVD 필름은 폴리머를 위한 습기 차단재로 사용되는 것은 물론, 금속의 산화 및 부식을 방지하는 보호막으로도 사용됩니다. 잉크젯 응용 분야에서
MVD 필름은 잉크 흐름을 최적화하기 위해 노즐 면판에 잉크가 축적되는 것을 방지할 수 있습니다. 생체 MEMS에서 MVD 필름은 습식을 개선 및/또는 단백질 흡수를 방지합니다. 생체 기술 응용 분야에서 MVD 필름은 생체 분자 반응을 위해 표면 앵커를 생성하는 데 사용됩니다. 나노 임프린트 리소그래피에서 MVD 필름은 스탬프와 폴리머 소재 사이의 매우 얇은 등각의 박리층으로 사용됩니다.
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