Plasma Processes for Photonic Devices
Download this datasheet giving an overview of SPTS's etch and deposition processes used to manufacture a range of photonic products such as LEDS, optical waveguides, VCSELs and lasers.
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光电子器件的市场由多种终端应用驱动，包括低能耗LED照明、用于手机面部识别的3D成像传感器、“智能汽车”的激光雷达、通信基础设施以及基于云的数据存储系统。
一般来说，光电子器件可以分为有源器件和无源器件。由半导体制成的有源器件产生或感知光，包括发光二极管、激光器和光电二极管。另一方面，无源器件被用来以可控的方式引导光，通常使用诸如氧化硅之类的电介质材料制造。有源和无源元件都可以组合成光电子集成电路（PIC）。SPTS提供了一系列可以用来制造无源和有源光电器件的技术。